特写硅的超精磨削

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摘要
 一种磨削技术，称为超精磨削。被讨论用来磨削大型的光学元和关于硅表面平坦和相对大小的特征的报告。表面平坦的测量是用Zygo技术进行表面分析，而表面伤害的测量是用X—射线和酸蚀的方法。
结果表明：优良的平坦度和表面光洁度，X—射线的结果表明：用小粒度的钻石砂轮在最后阶段的磨削可使表面相对磨损度减小。
关键词：硅，碳化硅，研磨，超精，残余应变，蚀刻，X—射线

1介绍
 超精磨削的最初努力，公司着重于改善表面洁度，用的是传统的硅车间研磨设备。有人发现表面光洁度接近圈子的表面，可以得到一系列加工过程。而使我们产生了————“超精”
 这一名词。超精磨的适应于大的尺寸和形状复杂的表面。（如图1，2，3），作为前面的讨论，这些组件生产根据常规磨削公差。最近，重点放在生产一些小平板的非光学应用。在板加工的课程上学过，这些扳块允许加工大板是相对比较平缓，不超过8波峰值（P—V）的要求。

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